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: XYZ 晶圆检测平台

XY十字叠加结构，内置直线电机，步进/扫描 Z轴采用特别设计，用于光学调焦，重复定位精度±1um XY集成高精度光栅尺，重复定位精度±0.5um 底座为采用大理石材料，可以很好的保证下轴超高的平面度。

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产品特性：

XY十字叠加结构，内置直线电机，步进/扫描

Z轴采用特别设计，用于光学调焦，重复定位精度±1um

XY集成高精度光栅尺，重复定位精度±0.5um

底座为采用大理石材料，可以很好的保证下轴高的平面度

典型应用领域：8寸/12寸晶圆检测

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