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AAL系列

AAL系列

      导轨、电机、编码器实现全面无接触、无磨损。

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设计特点:

 

A.高刚性、无摩擦静压气浮导向实现绝对顺滑的匀速扫描运动

B.超精等级几何精度(直线度、平面度、角度精度)满足高端定位系统需求

C.导轨、电机、编码器实现全面无接触、无磨损

D.内置线缆管理以及模组化XY堆叠设计简化系统集成工作

E.适用于半导体晶圆检测、激光微加工、钻石单晶车床等应用


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